溅射沉积温度对薄膜生长影响的计算机模拟 (2007年)

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文件名称：溅射沉积温度对薄膜生长影响的计算机模拟 (2007年)

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更新时间：2024-05-28 06:47:28

自然科学 论文

利用Monte Carlo方法对薄膜生长过程进行计算机模拟。模型针对粒子的沉积、吸附及粒子的扩散等过程，研究了粒子允许行走的最大步数对薄膜生长形貌的影响。结果表明：随温度升高，粒子行走步数增加，薄膜的生长经历了从分散到分形团聚的过程；在粒子行走步数越小的情况下，薄膜越易趋向于分散生长。