论文研究-Ⅵ/Ⅲ族源输入摩尔比对氧化镓薄膜结晶质量和光学特性的影响 .pdf

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文件名称：论文研究-Ⅵ/Ⅲ族源输入摩尔比对氧化镓薄膜结晶质量和光学特性的影响 .pdf
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更新时间：2022-09-05 06:45:14
氧化镓 Ⅵ/Ⅲ族源输入摩尔比对氧化镓薄膜结晶质量和光学特性的影响，冯艳彬，夏晓川，本文利用低压金属有机物化学气相沉积方法，以高纯氧气和三乙基镓为反应源，在不同氧源和镓源摩尔比（Ⅵ/Ⅲ比）条件下，在c面蓝宝�