论文研究-缓冲层退火对氧化锌薄膜结晶性质的影响 .pdf

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文件名称：论文研究-缓冲层退火对氧化锌薄膜结晶性质的影响 .pdf

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更新时间：2022-09-11 03:28:04

氧化锌

缓冲层退火对氧化锌薄膜结晶性质的影响，杨建增，梁红伟，利用金属有机物化学气相沉积技术在蓝宝石衬底上先制备一薄层氧化锌，而后将其在不同温度的氮气氛围下进行退火处理来制备氧化锌缓