论文研究-氢气氛围下退火对氧化镓薄膜性质的影响 .pdf 时间:2022-09-10 05:30:43 【文件属性】: 文件名称:论文研究-氢气氛围下退火对氧化镓薄膜性质的影响 .pdf 文件大小:476KB 文件格式:PDF 更新时间:2022-09-10 05:30:43 氧化镓薄膜 氢气氛围下退火对氧化镓薄膜性质的影响,牛成军,夏晓川,采用MOCVD制备了ε-Ga2O3薄膜样品,利用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、紫外可见分光光度计和半导体特性分析仪等表征手段� 立即下载