论文研究-溅射功率对Ca2Si薄膜性质的影响 .pdf

【文件属性】：

文件名称：论文研究-溅射功率对Ca2Si薄膜性质的影响 .pdf

文件大小：357KB

文件格式：PDF

更新时间：2022-09-03 11:05:01

射频磁控溅射

溅射功率对Ca2Si薄膜性质的影响，任雪勇，谢泉，采用射频磁控溅射技术在Si（100）衬底上沉积了Si-Ca-Si薄膜，并在高真空条件下对样品进行退火处理，直接生成立方相Ca2Si薄膜。研究了不