论文研究-溅射功率和退火时间对Ca2Si薄膜结构特性的影响 .pdf

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文件名称：论文研究-溅射功率和退火时间对Ca2Si薄膜结构特性的影响 .pdf
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更新时间：2022-09-09 11:35:00
无机非金属材料 溅射功率和退火时间对Ca2Si薄膜结构特性的影响，任雪勇，谢泉，采用射频磁控溅射技术在Si（100）衬底上制备出Ca2Si薄膜，研究了溅射功率和退火时间对薄膜的晶体结构、表面形貌的影响。X-射线衍射（