溅射时间对氧化钒薄膜光学特性的影响* (2011年)

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文件名称：溅射时间对氧化钒薄膜光学特性的影响* (2011年)

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更新时间：2024-05-28 20:33:48

工程技术 论文

我们在玻璃衬底上用磁控溅射的方法以不同的溅射时间(15、20、25、30 min)沉积了氧化钒薄膜，我们发现随着溅射时间的增加，氧化钒薄膜的红外透过率的改变量可高达58％，氧化钒薄膜的相变温度从66℃减下到50℃，从薄膜的X射线衍射图中，我们可以看出，随着溅射时间的延长，VO2(100)峰出现。