文件名称：对向靶磁控溅射纳米氧化钒薄膜的热氧化处理 (2009年)
文件大小：620KB
文件格式：PDF
更新时间：2024-06-15 09:19:32
自然科学 论文
采用直流对向靶磁控溅射方法制备低价态纳米氧化钒薄膜,研究热氧化处理温度和时间对氧化钒薄膜的组分、结构和电阻温度特性的影响。采用X射线光电子能谱(XPS)、X射线衍射(XRD)和原子力显微镜(AFM)对氧化钒薄膜的组分、结晶结构和微观形貌进行分析,利用热敏感系统对薄膜的电阻温度特性进行测量。结果表明,经300~360,℃热处理后,氧化钒薄膜的组分逐渐由V2O3和VO向VO2转变,薄膜由非晶态变为单斜金红石结构,具有金属半导体相变性能;增加热处理温度后,颗粒尺寸由20,nm增大为100,nm,薄膜表面变得致密