论文研究-利用籽晶层提高氧化镓薄膜的结晶和光学质量 .pdf

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文件名称：论文研究-利用籽晶层提高氧化镓薄膜的结晶和光学质量 .pdf

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更新时间：2022-09-05 06:32:13

氧化镓薄膜

利用籽晶层提高氧化镓薄膜的结晶和光学质量，孙婷，夏晓川，采用射频磁控溅射技术在蓝宝石衬底上制备了氧化镓籽晶层，并对籽晶层进行高温退火处理，而后利用MOCVD技术分别在无籽晶层衬底上和�