论文研究-利用籽晶层提高氧化镓薄膜的结晶和光学质量 .pdf 时间:2022-09-05 06:32:13 【文件属性】: 文件名称:论文研究-利用籽晶层提高氧化镓薄膜的结晶和光学质量 .pdf 文件大小:381KB 文件格式:PDF 更新时间:2022-09-05 06:32:13 氧化镓薄膜 利用籽晶层提高氧化镓薄膜的结晶和光学质量,孙婷,夏晓川,采用射频磁控溅射技术在蓝宝石衬底上制备了氧化镓籽晶层,并对籽晶层进行高温退火处理,而后利用MOCVD技术分别在无籽晶层衬底上和� 立即下载