论文研究- 采用ICPCVD工艺生长氮化硅对InP表面钝化的研究 .pdf

时间:2022-09-05 06:23:53
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更新时间:2022-09-05 06:23:53

肖特基二极管

采用ICPCVD工艺生长氮化硅对InP表面钝化的研究 ,陈俊,王一栋,低温工艺下生长的氮化硅对InP器件具有较好的钝化效果。为了研究InP表面的钝化效果,本文采用ICPCVD的方法在InP衬底上生长氮化硅钝化层


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