PECVD法氮化硅薄膜生长工艺的研究

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文件名称：PECVD法氮化硅薄膜生长工艺的研究

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更新时间：2022-02-07 09:58:13

半导体

PECVD法氮化硅薄膜生长工艺的研究讲述了不同工艺参数对SiN薄膜的影响