基底温度对YbF。薄膜缺陷和光学性能影响研究 (2006年)

【文件属性】：

文件名称：基底温度对YbF。薄膜缺陷和光学性能影响研究 (2006年)

文件大小：2.43MB

文件格式：PDF

更新时间：2024-05-13 19:14:56

工程技术 论文

采用热蒸发法镀制了单层YbF3薄膜,观察了薄膜表面主要的微观结构缺陷,研究了沉积温度对薄膜折射率与表面缺陷的影响,测量了薄膜施加沉积温度前后的粗糙度变化。结果表明:通过加温可以降低薄膜的表面粗糙度与缺陷密度大小。