沉积温度对LaTiO3薄膜光学和激光损伤性能的影响

时间:2024-06-07 21:38:18
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文件名称:沉积温度对LaTiO3薄膜光学和激光损伤性能的影响

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更新时间:2024-06-07 21:38:18

LaTiO3; ¯lm; optical properties; laser-induced

使用电子束枪通过热气相沉积技术在室温,60、140和220℃下制备LaTiO3薄膜,以研究沉积温度与样品的光学性质之间的关系。 在椭圆偏振分析中,在1064nm的波长下,相应的折射率为1.8993、1.9123、1.9197和1.9283。 同时,在可见光和红外区域呈现的所有样品的吸收特性极低。 使用相同的200mJ(约40J / cm2)的高能测试激光器在1064nm的波长和10ns的脉冲宽度下,在不同温度下制备的LaTiO3样品的激光诱导损伤阈值(LIDT)为15.5,分别为16.7、18.5和18.2J / cm2。 这表明在较高的沉积温度下可以获得较高的LIDT。


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