氮化温度对ZnO薄膜结构特性的影响 (2009年)

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文件名称：氮化温度对ZnO薄膜结构特性的影响 (2009年)

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更新时间：2024-06-18 16:49:21

自然科学 论文

采用螺旋波等离子体辅助射频磁控溅射技术,在蓝宝石(001)衬底上制备不同氮化温度的ZnO 薄膜 。结果表明,在200～600℃内,不同的氮化温度对薄膜的表面形貌和晶格结构有显著影响 。