衬底温度对氮化锌薄膜特性的影响 (2012年)

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文件名称：衬底温度对氮化锌薄膜特性的影响 (2012年)
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更新时间：2021-05-31 05:26:20
自然科学 论文 采用直流磁控溅射的方法,在不同温度的玻璃衬底上生长Zn3N2薄膜.研究了衬底温度对样品的微结构、表面形貌以及光学性质的影响.结果表明,随着衬底温度的升高,生长的Zn3N2薄膜择优取向增多;晶粒尺寸逐渐变大;Zn3N2薄膜间接光学带隙由1.86 eV逐渐增大到2.26 eV.