基于体硅工艺的微反射镜的原理性实验 (2004年)

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文件名称：基于体硅工艺的微反射镜的原理性实验 (2004年)
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更新时间：2021-05-20 04:32:14
自然科学 论文 基于体硅工艺的微反射镜具有体积小、质量轻、驱动电压低、偏转角度大等优点,在激光敌我识别和光通信等领域都有着广泛的应用。该文设计了一种基于体硅工艺的微反射镜,其偏转角度可以通过驱动电压控制;对这种结构建立了理论模型,对吸合电压、吸合角度和固有频率进行了分析;简要介绍了这种微反射镜的加工工艺;并对微反射镜样机做了原理性实验研究。微反射镜镜面面积为 1 240μm×980μm,最大偏转角度约为 2.6°,吸合电压约为 27V,固有频率为 750Hz左右。