北京大学体硅MEMS工艺

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文件名称：北京大学体硅MEMS工艺
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文件格式：PDF
更新时间：2012-05-23 14:31:02
北京大学 微电子 mems 工艺 为了使表面牺牲层MEMS设计标准化，利用ICCAD根据进行版图设计规则的自动检查，制定出该设计规则，并在CADENCE中建立了相应的工艺库几DRC检验规则