基于体硅工艺的微反射镜的原理性实验.

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文件名称：基于体硅工艺的微反射镜的原理性实验.
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更新时间：2014-12-13 13:18:05
反射镜 mems 基于体硅工艺的微反射镜具有体积小、质量轻、驱 动电压低、偏转角度大等优点, 在激光敌我识别和光通信等 领域都有着广泛的应用。该文设计了一种基于体硅工艺的微 反射镜, 其偏转角度可以通过驱动电压控制; 对这种结构建 立了理论模型, 对吸合电压、吸合角度和固有频率进行了分 析; 简要介绍了这种微反射镜的加工工艺; 并对微反射镜样 机做了原理性实验研究。