CdS薄膜制备方法及其性能比较研究 (2009年)

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文件名称：CdS薄膜制备方法及其性能比较研究 (2009年)
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更新时间：2021-05-08 20:20:02
自然科学 论文 用三种方法（化学水浴法、真空蒸发法和磁控溅射法）在玻璃衬底上制备了CdS薄膜。用测厚仪、X射线衍射（XRD）、扫描电镜（SEM）和光学透过率谱等手段测试了各薄膜的厚度、晶面取向、表面形貌、晶粒分布、透过率等，计算了各薄膜的光能隙。结果显示，磁控溅射法适于制备ZnS/CdS超晶格薄膜中的CdS。