电子束蒸发法制备MoO3薄膜及其性质研究 (2011年)

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文件名称：电子束蒸发法制备MoO3薄膜及其性质研究 (2011年)
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更新时间：2021-05-23 16:15:43
自然科学 论文 采用电子束蒸发法在玻璃衬底上制备MoO3薄膜。X射线衍射谱表明制备样品属于正交晶系,沿<010>晶向择优取向生长。随着衬底温度的升高,样品的晶粒尺寸先增大后减小,退火后又增大。此外,样品的(040)衍射峰随衬底温度升高单调向低衍射角方向移动。扫描电镜照片显示制备样品具有针状晶粒特征,退火后晶粒大小的分布趋于均匀。紫外