文件名称：太阳电池中CdTe多晶薄膜沉积制备及其性能 (2005年)
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更新时间：2024-06-01 01:28:31
工程技术 论文
在氩氧混合气氛下近空间升华技术（CSS）制备CdTe多晶薄膜中，薄膜的结构、性质决定于整个沉积过程.深入研究沉积过程中的热交换、物质输运，有助于制备薄而致密的具有进行良好光电性质CdTe薄膜。通过分析近空间沉积的物理机制，测量近空间沉积装置内温度分布，对升温过程、气压与薄膜初期成核的关系进行讨论。研究结果表明，不同气压下制备的样品，均有立方相CdTe，此外，还有cdS和SnO2：F衍射峰，CdTe晶粒随气压增加有减小趋势；随气压的增加，透过率呈下降趋势，相应的CdTe吸收边向短波方向移动。在此基础上制备出