太阳电池中CdTe多晶薄膜沉积制备及其性能 (2005年)

【文件属性】：
文件名称：太阳电池中CdTe多晶薄膜沉积制备及其性能 (2005年)
文件大小：3.2MB
文件格式：PDF
更新时间：2021-05-12 07:41:51
工程技术 论文 在氩氧混合气氛下近空间升华技术（CSS）制备CdTe多晶薄膜中，薄膜的结构、性质决定于整个沉积过程.深入研究沉积过程中的热交换、物质输运，有助于制备薄而致密的具有进行良好光电性质CdTe薄膜。通过分析近空间沉积的物理机制，测量近空间沉积装置内温度分布，对升温过程、气压与薄膜初期成核的关系进行讨论。研究结果表明，不同气压下制备的样品，均有立方相CdTe，此外，还有cdS和SnO2：F衍射峰，CdTe晶粒随气压增加有减小趋势；随气压的增加，透过率呈下降趋势，相应的CdTe吸收边向短波方向移动。在此基础上制备出