升温过程和气压在近空间升华沉积CdTe多晶薄膜中的作用 (2006年)

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文件名称：升温过程和气压在近空间升华沉积CdTe多晶薄膜中的作用 (2006年)
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更新时间：2021-04-27 06:16:26
自然科学 论文 近空间升华技术制备CdTe多晶薄膜具有薄膜质量好、沉积速率高、设备简单、生产成本低等优点。采用近空间升华法（CSS）制备的CdTe多晶薄膜，薄膜的结构、性质与整个沉积过程密切相关，其过程受到较多因素的影响。要实现对沉积过程的控制，必须对沉积过程中的热交换、物质输运进行深入的研究。分析近空间沉积的物理机制，通过对装置内的温度进行测量，对升温曲线进行实验研究，优选了温度分布与升温曲线，研究了气压对CdTe薄膜结构、性质的影响。讨论了升温过程、气压与薄膜的初期成核的关系。结果表明：不同气压下沉积的样品均为立方相