激光沉积法制备近红外高屏蔽性能透明薄膜 (2005年)

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文件名称：激光沉积法制备近红外高屏蔽性能透明薄膜 (2005年)
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更新时间：2021-04-25 14:02:01
自然科学 论文 以金属锌、铁、银为靶材，用准分子脉冲激光沉积法（PLD），在石英玻璃基片上制备了锌、铁、银的金属氧化物多层薄膜。XRD和AFM研究结果表明薄膜的结晶度很好，晶粒尺寸在30～50nm，成膜均匀致密，光滑平整；经紫外和红外光谱发现：Ag/Fe/Zn氧化物多层膜反射率小于15%，是一种低反射薄膜，其在可见光区的透过率约为50%（浅蓝灰色），对紫外的阻隔率大于90%，对近红外的阻隔率大于70%。