基于白光透射反射干涉的形貌重构方法验证 (2010年)

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文件名称：基于白光透射反射干涉的形貌重构方法验证 (2010年)
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更新时间：2021-05-13 16:22:01
工程技术 论文 利用扫描白光干涉的测量方法,通过透射反射干涉的方式,对覆盖不同层数透明薄膜GaAs台阶结构进行透射测试,实现了对覆盖透明薄膜的GaAs台阶结构三维形貌还原方法的验证。该测量方法是在Pizeo的驱动下,通过改变测量臂和参考臂之间的光程差,使其不同高度的表面到达零光程差位置,并由CCD记录整个扫描过程中干涉条纹的变化状况,进而提取被测件的三维形貌信息。该测试技术具有非接触、无破损、高灵敏度和快速测量的特点。可为膜后形貌的三维重构提供借鉴方法。