基于白光干涉测量技术的微器件三维形貌重构 (2009年)

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文件名称：基于白光干涉测量技术的微器件三维形貌重构 (2009年)
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更新时间：2021-05-13 16:18:29
工程技术 论文 垂直扫描法可以重构微系统中微纳结构的表面形貌,更适合具有台阶结构的微纳结构,其分辨率高、解算速度快、精度较高 。本文利用基于白光干涉技术的垂直扫描法,对微器件的台阶形貌在微系统测试仪下所得的干涉图进行分析,并重构台阶结构的表面形貌,微系统测试仪所取的干涉图符合垂直扫描法的要求,即光强峰值附近没有达到饱和,得出了清晰的三维形貌图,解算出的台阶高度和实际台阶高度一致,其横向分辨率为 1 .6μm,纵向分辨率为 0 .05μm 。