文件名称：透明台阶的白光干涉测量方法研究* (2013年)
文件大小：1.03MB
文件格式：PDF
更新时间：2024-05-17 20:04:50
工程技术 论文
Veeco NT3300表面轮廓仪是基于白光干涉原理的一种非接触测量设备，它的垂直扫描干涉模式可以实现对物体表面形貌的非接触测量。在利用垂直扫描干涉模式对光刻胶形成的透明台阶测量时，设置不同的测量参数会导致较大的测量误差，通过对垂直扫描干涉模式的原理和测量系统的分析，找到了误差产生的原因，并通过合理的测量参数的设置，实现了对透明台阶的准确测量，满足了应用需求。