脉冲React磁控溅射沉积AlN薄膜的条件研究

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文件名称：脉冲React磁控溅射沉积AlN薄膜的条件研究

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更新时间：2024-05-17 01:02:40

研究论文

脉冲React磁控溅射沉积AlN薄膜的条件研究