AlN沿习的纳米薄膜文献

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文件名称：AlN沿习的纳米薄膜文献

文件大小：211KB

文件格式：PDF

更新时间：2014-02-12 10:35:23

AlN沿习

溅射镀膜方法沉积AlN纳米薄膜的沿袭，被模板晶化