射频反应溅射制备AlN薄膜的研究 时间:2012-11-16 15:05:40 【文件属性】: 文件名称:射频反应溅射制备AlN薄膜的研究 文件大小:248KB 文件格式:PDF 更新时间:2012-11-16 15:05:40 射频反应溅射制备AlN薄膜的研究 射频反应溅射制备AlN薄膜的研究,希望对大家有用 立即下载