射频功率对射频磁控反应溅射制备AIN薄膜的影响 (2007年) 时间:2021-05-08 13:01:08 【文件属性】: 文件名称:射频功率对射频磁控反应溅射制备AIN薄膜的影响 (2007年) 文件大小:2.32MB 文件格式:PDF 更新时间:2021-05-08 13:01:08 自然科学 论文 采用射频磁控溅射法在Si(100)衬底上制备了AIN薄膜,通过控制工艺参数可以沉积出不同择优取向的AIN薄膜,各工艺参数中射频功率对其择优取向的影响最大。XRD表征了AIN薄膜的结构,进而选择出最优射频功率。 立即下载