C轴择优取向ALN薄膜的制备研究

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文件名称：C轴择优取向ALN薄膜的制备研究

文件大小：250KB

文件格式：PDF

更新时间：2018-02-24 15:03:26

AlN

对（001）择优取向AlN薄膜进行了制备