论文研究-等离子辅助电子枪蒸发沉积AlN薄膜 .pdf 时间:2022-09-05 05:07:35 【文件属性】: 文件名称:论文研究-等离子辅助电子枪蒸发沉积AlN薄膜 .pdf 文件大小:386KB 文件格式:PDF 更新时间:2022-09-05 05:07:35 氮化铝 等离子辅助电子枪蒸发沉积AlN薄膜,黄孟祥,陈俊芳,利用ICP离子源辅助电子枪低温蒸发沉积AlN薄膜,对薄膜进行XRD谱分析,用AFM原子力显微镜测试了薄膜的表面形貌,经过高温退火后的薄膜 立即下载