论文研究-等离子辅助电子枪蒸发沉积AlN薄膜 .pdf

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文件名称：论文研究-等离子辅助电子枪蒸发沉积AlN薄膜 .pdf

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更新时间：2022-09-05 05:07:35

氮化铝

等离子辅助电子枪蒸发沉积AlN薄膜，黄孟祥，陈俊芳，利用ICP离子源辅助电子枪低温蒸发沉积AlN薄膜，对薄膜进行XRD谱分析，用AFM原子力显微镜测试了薄膜的表面形貌，经过高温退火后的薄膜