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文件名称：论文研究-等离子体辅助脉冲激光沉积制备GaN/AlN超晶格和准AlGaN三元合金 .pdf
文件大小：627KB
文件格式：PDF
更新时间：2022-09-05 08:52:38
半导体材料
等离子体辅助脉冲激光沉积制备GaN/AlN超晶格和准AlGaN三元合金，蔡华，游庆虎，介绍一种以GaAs和Al为靶材料，用等离子体辅助反应脉冲激光沉积方法沉积GaN/AlN超晶格进而制备准AlGaN三元合金薄膜的方法。我们在电子回