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文件名称：等离子体辅助电子枪蒸发制备AlN薄膜及等离子体参数诊断 (2006年)
文件大小：89KB
文件格式：PDF
更新时间：2021-05-31 05:18:55
自然科学 论文
采用射频TCP(Transverse coupled plasma)等离子体辅助电子枪蒸发技术首次在室温下制备了氮化铝薄膜,用傅立叶变换红外光谱仪分析了氮化铝薄膜红外光谱的特性.利用朗缪尔静电单探针诊断了射频TCP离子束辅助电子枪蒸发镀膜装置反应室内等离子体密度的空间分布规律,并分析了气压对等离子体分布的影响.离子源口等离子体密度较大,但分布不均匀;反应室内等离子体迅速扩散,密度变小,分布趋向于均匀.