文件名称：衬底和热处理温度对ZnO薄膜的微观结构的影响 (2013年)
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更新时间：2024-05-18 13:40:10
自然科学 论文
采用Sol-gel法，在普通载玻片和si(100)上使用旋转涂覆技术制备了具有c轴择优取向生长的ZnO薄膜。利用XRD和SEM研究了衬底和热处理温度对ZnO薄膜的物相结构、表面形貌和(002)定向性的影响。结果表明，sol-gel旋涂法制备的ZnO薄膜为六角纤锌矿结构，玻璃衬底上生长的ZnO薄膜为多晶形态，Si(100)衬底表现出更优取向生长特性。随着热处理温度的升高，c轴择优取向程度逐渐增强，晶粒尺寸逐渐增大，ZnO的晶格参数先增加后减小。当温度在700℃时长出明显的柱状晶粒。