文件名称：不同衬底温度对ZnO薄膜结构和光学性质的影响 (2014年)
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更新时间：2024-06-05 03:20:38
自然科学 论文
利用磁控溅射在玻璃基片上制备了不同衬底温度下的ZnO薄膜．借助x射线衍射仪(XRD)、吸收光谱、光致发光谱(PL)等手段研究了衬底温度对ZnO薄膜的微结构、光致发光性能的影响．结果表明：所有样品均呈现ZnO六角纤锌矿结构且具有高度c轴择优取向；ZnO薄膜在可见区的吸收系数很小，在紫外区有很高的吸收系数；室温下的荧光光谱显示薄膜具有较强的紫光发射．