非晶硅薄膜的制备及晶化研究 (2013年)

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文件名称：非晶硅薄膜的制备及晶化研究 (2013年)
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更新时间：2021-05-30 17:18:35
自然科学 论文 采用磁控溅射技术首先在玻璃基片、单晶硅片上溅射非晶硅薄膜再在其表面溅射铝膜,并用快速退火炉在不同温度下进行退火。利用台阶仪、拉曼散射光谱(Raman)仪和X射线衍射(XRD)仪对薄膜进行性能表征。结果表明:在功率120W ,气压1.5～2.5pa ,时间为3.5～4.5h的条件下可制备得非晶硅薄膜,Al诱导能降低晶化温度,并在500～600℃间存在一最佳晶化温度。