铝诱导晶化法制备多晶硅薄膜

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文件名称：铝诱导晶化法制备多晶硅薄膜

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更新时间：2012-09-22 07:43:06

铝诱导晶化法 多晶硅薄膜

介绍了铝诱导晶化法制备多晶硅薄膜的方法，叙述了铝诱导晶化法制备多晶硅薄膜的一般过程