文件名称：铝诱导对磁控溅射制备CdZnTe薄膜结晶的影响* (2013年)
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更新时间：2024-06-07 02:08:19
工程技术 论文
选用Cd0．9Zn0．1Te晶体和纯度为99．999％的铝为靶材，结合Al诱导晶化技术，采用磁控溅射法在普通玻璃衬底上制备了CdZnTe薄膜。研究了铝诱导CdZnTe薄膜的结构和形核机理。研究表明，铝诱导的CZT薄膜为闪锌矿结构，且为(111)晶面的取向生长；在薄膜生长过程中，覆盖在CdZnTe表面的铝首先与ZnTe结合，形成了ZnAl2 Te4相，并以此为核心，诱导CdZnTe异质形核结晶，重新形成了小晶粒团簇的较致密颗粒状薄膜，提高了薄膜(111)面的优势取向结晶，提高了CdZnTe薄膜的结晶质量。讨