等离子体增强化学气相沉积法制备氧化锌薄膜 (2006年)

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文件名称:等离子体增强化学气相沉积法制备氧化锌薄膜 (2006年)

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更新时间:2024-06-02 12:38:26

自然科学 论文

通过引入金属有机源——二乙基锌和二氧化碳,用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)的方法在低温下制备高质量(002)取向的氧化锌薄膜,详细研究了衬底温度对薄膜质量的影响。实验发现;衬底温度对氧化锌的取向性和晶粒的大小都有显著的影响。随着温度的提高,氧化锌的取向性。增强,温度为230℃时得到单一(002)取向的六角结构的氧化锌薄膜,其xRD的半高宽为0.26°。从其透射谱可以观察到典型的激子吸收线,从光致发光谱上可以观察到一个强而窄(半高宽度大约为125mey)的3.26eV紫外激子发射。


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