等离子体增强化学气相沉积-PECVD

【文件属性】：

文件名称：等离子体增强化学气相沉积-PECVD

文件大小：721KB

文件格式：DOCX

更新时间：2024-01-27 04:51:29

等离子体增强化学气相沉积-PEC

用于制造微电子器件的薄膜都是使用某种沉积技术形成的，该术语是指在基板上形成沉积物。在半导体器件制造中，以下沉积技术（及其常用的缩写）为：