等离子体增强化学气相沉积-PECVD

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文件名称：等离子体增强化学气相沉积-PECVD
文件大小：721KB
文件格式：DOCX
更新时间：2021-01-06 11:04:49
等离子体增强化学气相沉积-PEC 用于制造微电子器件的薄膜都是使用某种沉积技术形成的，该术语是指在基板上形成沉积物。在半导体器件制造中，以下沉积技术（及其常用的缩写）为：