文件名称：ZrCl4蒸汽法沉积ZrC涂层的锆源输送装置 (2008年)
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更新时间：2024-05-14 21:58:40
自然科学 论文
为解决ZrCl4蒸汽法化学气相沉积包覆燃料颗粒 ZrC涂层时锆源输送的控制问题，设计制造了锆源输送装置。改装坩埚电阻炉，配备温度控制箱，以满足蒸发器的连接和控温要求；设计不锈钢蒸发器与耐高温、腐蚀压力表以满足腐蚀性气体测压要求；使用加热带和玻璃纤维布以满足 ZrCl4蒸汽输送过程保温要求。最后进行ZrCl+蒸汽载带实验。实验结果表明，通过控制蒸发器加热温度和载气流量该装置可以实现ZrCl4蒸汽的定量载带，为ZrCl4蒸汽法沉积 ZrC涂层提供了设备基础。