文件名称：金属有机物PCVD法沉积Ti(CN)涂层 (2004年)
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更新时间：2024-06-14 06:34:23
工程技术 论文
应用PCVD技术,以金属有机物T PT作钛源在H13模具钢表面沉积Ti(CN)涂层,研究了不同工艺参数对涂层组织和性能的影响,并对涂层的抗氧化性进行了实验。结果表明,采用适当的沉积温度、压力及氮气流量,可以在H13钢表面得到以Ti(CN)为主的致密涂层,在沉积温度500℃时达到最高硬度HV1760,涂层在600℃以下具有良好的抗氧化性。