论文研究-界面陷阱对高κ栅MOS器件C-V特性影响的定量研究 .pdf

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文件名称：论文研究-界面陷阱对高κ栅MOS器件C-V特性影响的定量研究 .pdf

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更新时间：2022-09-06 20:38:27

MOS器件

界面陷阱对高κ栅MOS器件C-V特性影响的定量研究，刘红侠，刘世宏，本文研究了界面陷阱对MOS器件栅电容C-V特性的影响。分别计算了几种不同的缺陷类型和不同分布形式界面陷阱作用下的栅电容C-V特性。研