论文研究-高压MOS器件物理特性研究及可靠性改进 .pdf

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文件名称：论文研究-高压MOS器件物理特性研究及可靠性改进 .pdf

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更新时间：2022-09-04 07:34:35

高压MOS器件

高压MOS器件物理特性研究及可靠性改进，李毅，，本文将介绍高压MOS器件的物理特性及其对半导体可靠性的影响，着重通过对高压器件场氧穿透现象和高压器件热载流子效应等现象的研究