论文研究-一种高压MOS器件栅极氧化层制程改善方法 .pdf 时间:2022-09-12 22:10:09 【文件属性】: 文件名称:论文研究-一种高压MOS器件栅极氧化层制程改善方法 .pdf 文件大小:728KB 文件格式:PDF 更新时间:2022-09-12 22:10:09 栅极氧化层 一种高压MOS器件栅极氧化层制程改善方法,许喆,,在0.25um以下的高阶制程中,通常使用蚀刻形成STI (Shallow Trench Isolation)浅沟槽的方式来达到元器件相隔绝的目的。由于制程能力的限制,STI 立即下载