直流磁控溅射法制备TiO2薄膜的研究 (2009年)

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文件名称：直流磁控溅射法制备TiO2薄膜的研究 (2009年)
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更新时间：2021-04-23 22:12:05
自然科学 论文 论术采用直流磁控溅射法制备TiO2薄膜的实验研究. 研究了氧流量、基片温度对制备TiO2薄膜的影响, 并测量了薄膜的晶相结构和表面形貌, 结果表明制备出了具有锐钛矿晶体结构的TiO2薄膜.