直流磁控溅射法制备TiO2薄膜的研究 (2009年)

【文件属性】：

文件名称：直流磁控溅射法制备TiO2薄膜的研究 (2009年)

文件大小：600KB

文件格式：PDF

更新时间：2024-05-13 15:58:45

自然科学 论文

论术采用直流磁控溅射法制备TiO2薄膜的实验研究. 研究了氧流量、基片温度对制备TiO2薄膜的影响, 并测量了薄膜的晶相结构和表面形貌, 结果表明制备出了具有锐钛矿晶体结构的TiO2薄膜.