磁控溅射制备TiO2薄膜及其光学特性研究 (2010年)

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文件名称：磁控溅射制备TiO2薄膜及其光学特性研究 (2010年)
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更新时间：2021-04-27 22:15:49
工程技术 论文 采用直流反应磁控溅射法在玻璃衬底上制备TiO2薄膜。用紫外-可见光分光光度计和AFM分别表征了薄膜的透射率和表面形貌,用包络线法详细研究了不同衬底温度下TiO2薄膜的光学特性。结果表明:薄膜在可见光波段有很高的透明度,且随着衬底温度的升高,薄膜的透射率略有增加,薄膜的折射率和吸收系数增大,薄膜的光学带隙减小;同时,薄膜表面粗糙度减小,薄膜变得平整。