文件名称：磁控溅射制备TiOsup2sup薄膜及其光学特性研究.pdf
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文件格式：PDF
更新时间：2022-08-27 09:03:31
动力与能源工程
采用直流反应磁控溅射法在玻璃衬底上制备TiO2薄膜.用紫外-可见光分光光度计和AFM分别表征了薄膜的透射率和表面形貌，用包络线法详细研究了不同衬底温度下TiO2薄膜的光学特性.结果表明：薄膜在可见光波段有很高的透明度，且随着衬底温度的升高，薄膜的透射率略有增加，薄膜的折射率和吸收系数增大，薄膜的光学带隙减小；同时，薄膜表面粗糙度减小，薄膜变得平整.