论文研究-射频反应磁控溅射制备VOx薄膜 .pdf

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文件名称：论文研究-射频反应磁控溅射制备VOx薄膜 .pdf
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更新时间：2022-09-04 11:12:25
VOx薄膜 射频反应磁控溅射制备VOx薄膜，李建峰，吴志明，本文采用射频反应溅射法制备了VOx薄膜,重点研究了氧分压对薄膜电学性能的影响，在低真空中330 ℃低温退火得到了高性能的VOx 薄膜，制